Mikro Elektro-Mekanik Sistemler Uygulamaları

Uygulamaları
Günümüzde MEMS birçok uygulama ile hayatımıza yerleşmiş durumdadır Bu uygulamalardan bazıları aşağıda yer almaktadır
Mürekkepli Yazıcılar
Bazı malzemelerin piezoelektrik özelliklerine dayaranak tasarlanan MEMS'ler mürekkepli yazıcıların mürekkep püskürtme işlemini kontrol etmek amacı ile kullanılmaktadır Voltaj farkı uygulandığı zaman piezoelektrik malzemelerin boyutları değişmekte ve bu şekil değişimi ile mürekkebin akış kontrol edilmektedir
Hava Yastıkları
Hava yastıkları arabanın yavaşlama hızına bağlı olarak çalışmaya başlarlar Yavaşlama hızı, ivme ölçerler ile tayin edilir Hava yastıklarında kullanılan sensörler MEMS ivme ölçerleridir Bu MEMS ivme ölçerleri, ani hareket değişimleri sırasında kapasitansta gerçekleşen değişim ile algılarlar ve sinyal oluşturarak hava yastığının çalışmasını sağlarlar MEMS öncesinde kullanılan, civa anahtarı olarak bilinen sistemler kullanılan hava yastıklarının çalışması sırasında sorunlar yaşanmaktaydı Bu sebepten dolayı günümüzde kullanılan hava yastıklarının tamamında MEMS temelli sensörler kullanılmaktadır
Işınım Ölçer (Bolometer)
Bolometreler ışınımı (elektromagnetik radrasyonu) ölçmek için kullanılan cihazlardır Yalıtkan kaplama yapılmış bir emici bağlantı ile sabit sıcaklıklı bir ısı deposuna bağlı algılayıcılardır Işınım ölçerlerin emdikleri radrasyon sebebi ile sıcaklıkları değişir, bu sıcaklık değişimi ile ışınımdaki değişim algılanır Mikrobolometreler termal kameralarda kullanılmaktadır 160x120 den 1024x768 e kadar çeşitli çözünürlükleri üretilen bolometre gridleri sıcaklık dağılımına göre grafik oluşturmada kullanılmakta
Jiroskop (Gyroscope)
Jiroskoplar açısal momentum prensiplerine bağlı olarak yön bulma için kullanılmaktadır Geleneksel jiroskoplar yüksek sürtünmeden dolayı yüksek oranda hata vermektedir, büyük boyutları ve imalatta gerken yüksek toleranslar yüzündende maliyetleri yüksektir Yeni geliştirilen MEMS temelli jiroskoplar ise titreşen bir objenin destek yüzeyi değiştirilirken bile aynı düzlemde kalma eğilimine dayanarak çalışmaktadır Temeldeki fiziksel prensip farklılığından ve boyut ve üretim yöntemi farkından dolayı MEMS jiroskoplar çok daha ucuz ve yüksek hassasiyette çalışmaktadır
Basınç ölçer
Basınç ölçerler, sıvı ve gazların basıncını ölçmek için kullanılmaktadır Sıvının ilerlemek için uyguladığı kuvvetin alana bölümü basıncı vermektedir Basınç ölçerler günlük bir çok uygulamada basıncı ölçmek için kullanılmaktadır Micro elektromekanik sistemlerin basınç ölçerlere adapte edilmesi, çok küçük yarıiletken çiplerden basınç ölçerler yapılmasını sağlamıştır Küçülen boyut ve artan hassasiyet sayesinde basınç ölçerlerin kullanımı yaygınlaşmıştır
Bio - Mikro elektromekanik sistemler (BioMems)
Bio-MEMS'ler, biyolojik maddelerin bilimsel amaçlarla analizi, ölçümü ve aktivitelerinin gözlenmesi için kullanılan mikroelektromekanik yapılardır Micro teknolojinin en son gelişmekte olduğu alan bu alandır Bio-MEMSin gelişmekte oluduğu alanlar, Lab-on-Chip uygulamaları, teşhis ve tedavi cihazları ve toplam analiz sistemleridir

Kaynak : Wikipedia