Mikro Elektro-Mekanik Sistemler

**Prof. Dr. Sinsi** · 08-20-2012

Mikroelektro-mekanik sistemler (MEMS) günümüzde var olan mekanik ve elektrik sistemlerin entegre ve minyatürize versiyonları olup mikron boyutlarında olan bu sistemleri nanoelektromekanik sistemler (NEMS) vasıtası ile nanoteknoloji uygulamaları için de kullanmak mümkündür

MEMS kavramı ilk olarak 1987 yılında bir mikrodinamik çalıştayı esnasında telaffuz edilmiştir

Fakat MEMS kavramının ortaya çıkması esas olarak entegre devre çalışmalarında yaşanan gelişmeler ışığında olmuştur

Bu gelişmeler içinde kalıba alma, kaplama teknolojileri, ıslak oyma metodları, kuru oyma metodlarında yaşanan gelişmeler mikro aygıt yapımını mümkün kılmıştır

Küçük aygıtların yapılması konusunda ortaya çıkan ilk fikir ünlü fizikçi Richard Feynman tarafından 1959 yılında yapılan "There's plenty of room at the bottom" isimli konuşmada ortaya atılmıştır

Mikro-elektromekanik sistemlerin boyutları 1 ile 100 mikrometre arasında değişim gösterir

Bu küçük boyutlarda standard fizik kuralları genellikle geçersizdir

MEMS yapılarında yüzey alanının hacime oranı oldukça yüksektir bu sebep ile yüzey etkileri (elektrostatik kuvvetler,ıslatma) hacim etkilerine (eylemsizlik,termal kütle) baskın gelir

Mikro elektro-mekanik sistem yapıları üç bölümden oluşur

Bu bölümler mekanik bölüm, mekanik bölümü çalıştıran tahrik bölümü ve mekanik hareketin davranışını inceleyen algılama bölümü olarak özetlenebilir

MEMS tahrik mekanizmaları verilen tahrik tipine göre farklılık gösterir

MEMS yapıları termal, elektrostatik, manyetik, pnömatik ve optik olarak tahrik edilebilir

Algılama işlemi ise genellikle optik ve elektronik sinyaller vasıtası ile yapılır

Kaynak : Wikipedia

08-20-2012	#1
Prof. Dr. Sinsi	Mikro Elektro-Mekanik Sistemler Mikroelektro-mekanik sistemler (MEMS) günümüzde var olan mekanik ve elektrik sistemlerin entegre ve minyatürize versiyonları olup mikron boyutlarında olan bu sistemleri nanoelektromekanik sistemler (NEMS) vasıtası ile nanoteknoloji uygulamaları için de kullanmak mümkündür MEMS kavramı ilk olarak 1987 yılında bir mikrodinamik çalıştayı esnasında telaffuz edilmiştir Fakat MEMS kavramının ortaya çıkması esas olarak entegre devre çalışmalarında yaşanan gelişmeler ışığında olmuştur Bu gelişmeler içinde kalıba alma, kaplama teknolojileri, ıslak oyma metodları, kuru oyma metodlarında yaşanan gelişmeler mikro aygıt yapımını mümkün kılmıştır Küçük aygıtların yapılması konusunda ortaya çıkan ilk fikir ünlü fizikçi Richard Feynman tarafından 1959 yılında yapılan "There's plenty of room at the bottom" isimli konuşmada ortaya atılmıştır Mikro-elektromekanik sistemlerin boyutları 1 ile 100 mikrometre arasında değişim gösterir Bu küçük boyutlarda standard fizik kuralları genellikle geçersizdir MEMS yapılarında yüzey alanının hacime oranı oldukça yüksektir bu sebep ile yüzey etkileri (elektrostatik kuvvetler,ıslatma) hacim etkilerine (eylemsizlik,termal kütle) baskın gelir Mikro elektro-mekanik sistem yapıları üç bölümden oluşur Bu bölümler mekanik bölüm, mekanik bölümü çalıştıran tahrik bölümü ve mekanik hareketin davranışını inceleyen algılama bölümü olarak özetlenebilir MEMS tahrik mekanizmaları verilen tahrik tipine göre farklılık gösterir MEMS yapıları termal, elektrostatik, manyetik, pnömatik ve optik olarak tahrik edilebilir Algılama işlemi ise genellikle optik ve elektronik sinyaller vasıtası ile yapılır Kaynak : Wikipedia