Mikro Elektro-Mekanik Sistemler Sonuçlar

**Prof. Dr. Sinsi** · 08-20-2012

Sonuçlar
| Entegre devre sanayisinde yaşanan minimizasyon devrimini gelişen MEMS teknolojisi daha ileri taşıdı

Her ne kadar temelleri entegre devre üretiminin gelişimine bağlı olsada MEMS ikinci bir devrim yaşanmasını sağladı

| Mikro talaşlı imalat ve MEMS deki gelişim sayesinde sensör ve aktuatörlerin daha da küçültülmesi sağlandı

| Sensör hassasiyet ve güvenilirliğinin yükselmesi, sensör uygulamalarını arttırdı ve üretilen ürünlerin daha güvenli olmasını sağladı

| Sensör ve sistem maliyetlerindeki düşüş MEMS'in uygulama alanını genişletti

Kaynak : Wikipedia

08-20-2012	#1
Prof. Dr. Sinsi	Mikro Elektro-Mekanik Sistemler Sonuçlar Sonuçlar \| Entegre devre sanayisinde yaşanan minimizasyon devrimini gelişen MEMS teknolojisi daha ileri taşıdı Her ne kadar temelleri entegre devre üretiminin gelişimine bağlı olsada MEMS ikinci bir devrim yaşanmasını sağladı \| Mikro talaşlı imalat ve MEMS deki gelişim sayesinde sensör ve aktuatörlerin daha da küçültülmesi sağlandı \| Sensör hassasiyet ve güvenilirliğinin yükselmesi, sensör uygulamalarını arttırdı ve üretilen ürünlerin daha güvenli olmasını sağladı \| Sensör ve sistem maliyetlerindeki düşüş MEMS'in uygulama alanını genişletti Kaynak : Wikipedia