Mikro Elektro-Mekanik Sistemler Sonuçlar
 

Sonuçlar
| Entegre devre sanayisinde yaşanan minimizasyon devrimini gelişen MEMS teknolojisi daha ileri taşıdı. Her ne kadar temelleri entegre devre üretiminin gelişimine bağlı olsada MEMS ikinci bir devrim yaşanmasını sağladı.
| Mikro talaşlı imalat ve MEMS deki gelişim sayesinde sensör ve aktuatörlerin daha da küçültülmesi sağlandı.
| Sensör hassasiyet ve güvenilirliğinin yükselmesi, sensör uygulamalarını arttırdı ve üretilen ürünlerin daha güvenli olmasını sağladı.
| Sensör ve sistem maliyetlerindeki düşüş MEMS'in uygulama alanını genişletti.

Kaynak : Wikipedia